|
 |
|
各種產業潔淨等級要求對照表
|
| 業種別 |
適用場所 |
潔淨度(Class) |
| 光學工業 |
光學鏡頭、刻度雕刻、醫學用相機、鏡片黏合製程、相機組立、微縮脹捲顯像、鏡片研磨製程、塗裝、底片製造乾燥。 |
100100~100,000 |
| 精密機械工業 |
電氣接點、袖珍軸承、精密誘導裝置、電子鐘錶元件、精密元件、儀器、軸承、鐘錶之組立、檢查。 |
100100~100,000 |
| 電子電機工業 |
半導體業之結晶精製、蝕刻製程、位置調整、表面處理、金屬蒸著、積體電路、映像管、錄放影機、電腦用磁帶、電腦製造、繼電器。 |
100100~100,000 |
| 印刷工業 |
精密製版、電子製版。 |
10~100100~100,000 |
| 菇菌栽培 |
香菇、洋菇、木耳菌之培養。 |
10,000 |
| 育 種 |
黴菌類污染之防止。 |
10,000 |
| 食肉加工 |
乳製品製造、魚糕、火腿、蘑菇製造、飲料裝瓶及封蓋。 |
10,000 |
| 醫 院 |
無菌手術房、無菌室、手術用器具保管、早產兒保育、一般手術室、加護病房、藥劑室、恢復室、病房。 |
100~100,000 |
| 臨床檢驗 |
細菌、黴菌、組織培養等。 |
10~100100~100,000 |
| 製 藥 |
抗生素、注射液及其封瓶、血清製造、藥品打錠、血液分裝、注射針筒、繃帶、化妝品製造。 |
1001,000~100,000 |
|
|
無塵室依等級的不同，對一定空間的微塵粒子最大容許量亦有一定規範，在國際標準中最常用的規範為 Fed-Std-209E
|
|
美國聯邦標準 － 209E 潔淨室規格表
|
|
等級限值
|
| 等級名稱 |
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
5μm |
| 容積單位 |
容積單位 |
容積單位 |
容積單位 |
容積單位 |
| SI |
英制 |
m3 |
ft3 |
m3 |
ft3 |
m3 |
ft3 |
m3 |
ft3 |
m3 |
ft3 |
| M1 |
|
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.876 |
10.0 |
0.283 |
- |
- |
| M1.5 |
1 |
1,240 |
35.0 |
265 |
7.50 |
106 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
- |
- |
| M2 |
|
3,500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
- |
- |
| M2.5 |
10 |
12,400 |
350 |
2,650 |
75.0 |
1,060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
- |
- |
| M3 |
|
35,000 |
991 |
7,570 |
214 |
3,090 |
87.5 |
1,000 |
28.3 |
- |
- |
| M3.5 |
100 |
|
|
26,500 |
750 |
10,600 |
300 |
3,530 |
100 |
- |
- |
| M4 |
|
|
|
75,700 |
2,140 |
30,900 |
875 |
10,000 |
283 |
- |
- |
| M4.5 |
1000 |
|
|
|
|
|
|
35,300 |
1,000 |
247 |
7.00 |
| M5 |
|
|
|
|
|
|
|
100,000 |
2,830 |
618 |
17.5 |
| M5.5 |
10000 |
|
|
|
|
|
|
353,000 |
10,000 |
2,470 |
70 |
| M6 |
|
|
|
|
|
|
|
1000,000 |
28,300 |
6,180 |
175 |
| M6.5 |
100000 |
|
|
|
|
|
|
3530,000 |
100,000 |
24,700 |
700 |
| M7 |
|
|
|
|
|
|
|
10,000,000 |
283,000 |
61,800 |
1,750 |
|
|
美國聯邦標準 － 209D 潔淨室規格表
|
| 級數 |
粒子大小 |
粒子數目 |
壓力 |
溫度°C |
溼度% |
風速與換氣率 |
照度 |
| um |
Particles/ft3 |
mmAg |
範圍 |
推薦值 |
誤差值 |
最高 |
最低 |
誤差值 |
次/hr |
lux |
| 1 |
≧0.5 |
≦1 |
>1.3 |
19.4
∼25
|
22.2 |
±2.8
特
殊
需
求
±1.4 |
45 |
30 |
±10
特
殊
需
求
±5 |
層流方式
0.35∼0.55m/s |
1,080∼1,620
|
| ≧5.0 |
0 |
| 10 |
≧0.5 |
≦10 |
| ≧5.0 |
0 |
| 100 |
≧0.5 |
≦100 |
| ≧5.0 |
≦1 |
| 1,000 |
≧0.5 |
≦1,000 |
亂流方式
≧20 次/hr |
| ≧5.0 |
≦10 |
| 10,000 |
≧0.5 |
≦10,000 |
| ≧5.0 |
≦65 |
| 100,000 |
≧0.5 |
≦100,000 |
| ≧5.0 |
≦700 |
|
|
|
|
